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            FPD-PVD磁控濺鍍設備

            簡要描述:FPD-PVD磁控濺鍍設備針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-07-10
            • 訪  問  量:576

            詳細介紹

            品牌其他品牌應用領域環保,化工,電子/電池

            FPD-PVD磁控濺鍍設備

            隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,製造設備也隨著變得更大,需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PVD 設備,擁有4個單獨的濺鍍腔體,讓客戶能任意搭配沉積的材料,同時保有彈性和具有選擇性的系統。

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            FPD-PVD磁控濺鍍設備

            應用領域
            • TFT-LCD

            • 太陽能電池

            • 觸碰屏

            • 氧化物、氮化物和金屬材料的研究


            配置和優點選件
            • 客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm2(玻璃)

            • 優異的薄膜均勻度小於±5%

            • 穩定的溫度控制,可將基板加熱到400°C

            • Cassette傳送站

            • 基材電漿清潔

            • OES、RGA或製程監控的額外備用

              端口。


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