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            串集多腔鍍膜設備

            簡要描述:串集多腔鍍膜設備是一組真空腔系統,這些真空腔系統通過位于系統中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環境下連續進行。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-07-10
            • 訪  問  量:658

            詳細介紹

            品牌其他品牌應用領域環保,化工,電子/電池

            串集多腔鍍膜設備是一組真空腔系統,這些真空腔系統通過位於系統中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環境下連續進行。所有這些過程使外部環境的影響最小化,以防止在沉積的過程中基板表面氧化,並為元件製造提供了最大效率。

            Syskey可根據客戶要求提供多腔體鍍膜系統。 我們的系統通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統,這些系統可用於FPD、電子行業、太陽能電池和半導體行業。

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            串集多腔鍍膜設備參數

            應用領域腔體
            • 半導體行業。

            • 太陽能電池。

            • LED。

            • 有機發光二極體。

            • 有機光伏打電池。

            • 平板顯示器。

            • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應用。

            • 帶有機械手臂的鋁製腔體,用於在腔體之間的傳送。



            選件

            • 濺鍍。

            • PECVD。

            • 乾蝕刻。

            • ALD/ PEALD。

            • 電漿清洗。

            • 熱退火。

            • 電子束蒸發。

            • 熱蒸鍍




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