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            FPD-PECVD 電漿輔助化學氣相沉積

            簡要描述:FPD-PECVD 電漿輔助化學氣相沉積:隨著LCD面板和制造所需玻璃的尺寸的增加,其制造設備也變得更大,需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PECVD 設備,提供非晶矽(a-Si),氧化矽(SiOx),氮氧化矽(SiON),氮化矽(SiNx)和多層膜沉積。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-07-10
            • 訪  問  量:630

            詳細介紹

            品牌其他品牌應用領域環保,化工,電子/電池

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            FPD-PECVD 電漿輔助化學氣相沉積

            隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加,其製造設備也變得更大,需要越來越大的設備投資。SYSKEY針對中小尺寸的需求開發串集的PECVD 設備,提供非晶矽(a-Si),氧化矽(SiOx),氮氧化矽(SiON),氮化矽(SiNx)和多層膜沉積。

            FPD-PECVD 電漿輔助化學氣相沉積

            應用領域
            • 非晶矽前驅物(a-Si)。

            • 氮化矽 (SiNx)。

            • 氧化矽,矽烷基(SiOx)。

            • 氧化矽,TEOS (SiOx)。


            配置和優點選件
            • 客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm2(玻璃)。

            • 優異的薄膜均勻度小於±3%。

            • 每個製程腔內最多可加裝7組氣體管線。

            • 遠程電漿進行腔體清潔。

            • 穩定的溫度控制,可將基板加熱到380°C。

            • Cassette傳送站。

            • TEOS沉積製程。

            • OES、RGA或製程監控的額外備用端口。



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