• <span id="3g4cf"><optgroup id="3g4cf"></optgroup></span>

    <option id="3g4cf"></option>
    <i id="3g4cf"><meter id="3g4cf"></meter></i>
    
    
      <i id="3g4cf"><meter id="3g4cf"></meter></i>

    1. <thead id="3g4cf"><pre id="3g4cf"><tr id="3g4cf"></tr></pre></thead>

            咨詢熱線

            13810961731

            當前位置:首頁  >  產品展示  >    >  多腔系統  >  刻蝕系統

            刻蝕系統

            簡要描述:刻蝕系統三到六個端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機、RIE刻蝕機、原子層沉積系統、PECVD和ICPECVD沉積設備,以滿足研發的要求。樣品可以通過預真空室和/或真空片盒站加載。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:經銷商
            • 更新時間:2024-07-10
            • 訪  問  量:1027

            詳細介紹

            品牌其他品牌應用領域環保,化工,電子/電池

            刻蝕系統介紹

            高產量

            等離子蝕刻和沉積腔體可以與多達兩個片盒站組合,用于到200 mm晶片的高產量工藝。

            研發

            三到六個端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機、RIE刻蝕機、原子層沉積系統、PECVD和ICPECVD沉積設備,以滿足研發的要求。樣品可以通過預真空室和/或真空片盒站加載。

            刻蝕系統包括等離子刻蝕和/或沉積腔體、傳送腔室、預真空室或片盒站。傳送腔室包括傳送機械手臂,可適用于三至六個端口。可以使用多達兩個片盒站來增加產量。傳送腔室可以配備多種選擇。

            用于研發的SENTECH多腔系統通過圖形用戶界面控制軟件操作。強大的控制軟件可用于工業領域高產量的多腔系統。



            2-modules RIE cluster for etching of aluminum pads16-ports cluster for industrial application2-modules cluster of ICP-RIE SI 500 and cryogenic etcher SI 500 C with vacuum loadlock6-ports cluster with two SI 500 RIE modules, cassette station, and vacuum loadlock for research and Low temperature plasma deposition cluster6-port cluster with ICP-module,ALD-module, and cassette stationPlasma Cluster Configuration with dual chamber architecture6-port cluster with ICPCVD-module, 2x ICP module, and 2 cassette stations



            產品咨詢

            留言框

            • 產品:

            • 您的單位:

            • 您的姓名:

            • 聯系電話:

            • 常用郵箱:

            • 省份:

            • 詳細地址:

            • 補充說明:

            • 驗證碼:

              請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
            主站蜘蛛池模板: 亚洲AV无码乱码在线观看性色扶| 久久精品成人免费网站| 久久精品一区二区免费看| 亚洲成A∨人片在线观看无码| 国产偷国产偷亚洲高清日韩| 亚洲av无码片区一区二区三区| 亚洲午夜电影在线观看| 美女被免费网站91色| 国产精品网站在线观看免费传媒| 又粗又大又猛又爽免费视频| 国产亚洲?V无码?V男人的天堂 | 亚洲色图综合在线| 亚洲综合精品第一页| 日韩精品无码区免费专区| 亚洲福利精品一区二区三区| 亚洲人成网站在线播放2019| 一级毛片**免费看试看20分钟| 中文字幕在线免费看线人| 亚洲午夜无码片在线观看影院猛| 国产亚洲情侣久久精品| 天堂亚洲免费视频| 理论片在线观看免费| 最近免费字幕中文大全视频| 国产精品无码一区二区三区免费| 国产AV旡码专区亚洲AV苍井空| CAOPORM国产精品视频免费| 青青青免费国产在线视频小草| 亚洲国产精品综合一区在线| 国产一卡2卡3卡4卡无卡免费视频| 亚洲毛片在线免费观看| 一本久久免费视频| 一本无码人妻在中文字幕免费| 亚洲天堂中文字幕在线| 中文无码日韩欧免费视频| 亚洲av午夜福利精品一区| 99视频在线免费| av在线亚洲欧洲日产一区二区| WWW免费视频在线观看播放| 亚洲av网址在线观看| 日韩大片免费观看视频播放| 99精品国产免费久久久久久下载 |